En el cambiante campo tecnológico de la industria de semiconductores, el micropolvo de carburo de silicio verde, como material abrasivo de alto rendimiento, se está convirtiendo gradualmente en un papel clave indispensable. Sus propiedades físicas y químicas únicas permiten que el micropolvo de carburo de silicio verde muestre un excelente rendimiento en múltiples enlaces, como el pulido, corte, empaquetado y prueba de obleas, lo que brinda un fuerte apoyo para el refinamiento y la eficiencia de los procesos de fabricación de semiconductores.
1. Características básicas del micropolvo de carburo de silicio verde
El micropolvo de carburo de silicio verde, como su nombre indica, es un polvo que refina las materias primas de carburo de silicio a nivel micrométrico mediante un proceso especial. Este polvo está hecho de coque de petróleo y sílice de alta calidad como materias primas principales, y se le añade sal como aditivo, y se funde en un horno de resistencia a altas temperaturas. Su estructura cristalina es estable y su dureza es extremadamente alta. La dureza de Mohs alcanza 9,2 y la microdureza es tan alta como 3300 kilogramos por milímetro cúbico, superada solo por el diamante, el nitruro de boro cúbico y el carburo de boro. Además, el micropolvo de carburo de silicio verde también tiene una excelente resistencia al desgaste, estabilidad química y buena conductividad térmica, que juntas constituyen la base para su amplia aplicación en la industria de semiconductores.
2. Materiales preferidos para rectificado de alta precisión
En el proceso de fabricación de semiconductores, la oblea es un componente central y la calidad de su superficie afecta directamente el éxito o el fracaso de los procesos posteriores, como la litografía, el grabado y la implantación de iones. El polvo de carburo de silicio verde se ha convertido en una opción ideal para el pulido de alta precisión de obleas debido a su alta dureza y resistencia al desgaste. Durante el proceso de pulido, el polvo de carburo de silicio verde puede eliminar con precisión pequeñas protuberancias y capas dañadas en la superficie de la oblea mientras mantiene una rugosidad extremadamente baja, sentando una base sólida para los procesos posteriores. Esta capacidad de pulido de alta precisión es de gran importancia para mejorar la planitud de la superficie de la oblea, reducir la rugosidad y eliminar los defectos de la superficie, especialmente en la fabricación avanzada de semiconductores.
3. Garantía de rectificado con pocos daños
Además de su alta precisión, el polvo de carburo de silicio verde también presenta excelentes características de bajo daño durante el proceso de molienda. Tiene una excelente estabilidad química y no reacciona fácilmente con los materiales de las obleas, lo que reduce la posibilidad de daño químico. Al mismo tiempo, al controlar con precisión la forma de las partículas y la distribución del tamaño de las partículas del polvo de carburo de silicio verde, se puede lograr un efecto de molienda más uniforme, lo que reduce aún más el daño mecánico. Esta característica de molienda de bajo daño es de gran importancia para proteger la estructura de la superficie de la oblea y mejorar el rendimiento del producto.
4. Molienda de alta eficiencia y protección del medio ambiente.
En la producción a gran escala de fabricación de semiconductores, la eficiencia de molienda es un factor clave para reducir los costos y acortar los ciclos de producción. Con su alta dureza y buen rendimiento de corte, el polvo de carburo de silicio verde puede mantener una alta tasa de eliminación durante el proceso de molienda, mejorando así la eficiencia de molienda. Además, como material inorgánico no metálico, el carburo de silicio verde no produce compuestos orgánicos volátiles (COV) nocivos ni contaminantes de metales pesados durante el proceso de molienda, lo que cumple con los requisitos de protección ambiental de la fabricación moderna de semiconductores. Esta característica de molienda de alta eficiencia y protección ambiental hace que el polvo de carburo de silicio verde sea muy popular en la industria de semiconductores.
5. Una herramienta afilada para cortar y picar.
Además de las operaciones de molienda, el polvo de carburo de silicio verde también se usa ampliamente en el proceso de corte y troceado de obleas. Durante el proceso de troceado, la cuchilla de carburo de silicio verde, con su borde afilado y excelente rendimiento de corte, puede garantizar que los bordes de las rodajas de obleas estén limpios y sin rebabas, mejorando así la calidad de las rodajas. Durante el proceso de troceado, la cuchilla de troceado de carburo de silicio verde puede controlar con precisión la profundidad y la dirección del corte para lograr una separación precisa de las estructuras diminutas en la oblea. Estas características hacen que el polvo de carburo de silicio verde también desempeñe un papel importante en el proceso final de fabricación de obleas.
6. Impulso importante para el adelgazamiento de la espalda
Con el continuo desarrollo de la tecnología de semiconductores, la tecnología de adelgazamiento de obleas se ha convertido en un medio importante para mejorar la integración y el rendimiento de los chips. El polvo de carburo de silicio verde también desempeña un papel importante en el proceso de adelgazamiento de obleas. Su alta dureza y resistencia al desgaste permiten mantener efectos de pulido de alta precisión durante el proceso de adelgazamiento, al tiempo que garantiza la estabilidad y la fiabilidad de la oblea en un entorno de fabricación complejo. Esto es de gran importancia para mejorar el rendimiento y la fiabilidad de los chips.
7. Tendencias futuras de desarrollo
De cara al futuro, con el avance continuo de la tecnología de semiconductores y la expansión continua de la escala del mercado, las perspectivas de aplicación del polvo de carburo de silicio verde en la industria de semiconductores serán más amplias. Por un lado, a medida que el tamaño de las características del chip continúa reduciéndose, los requisitos para la calidad de la superficie de las obleas son cada vez más altos, y el polvo de carburo de silicio verde se desarrollará en la dirección del pulido fino; por otro lado, mientras se mantiene un pulido eficiente, se prestará más atención a la protección del medio ambiente y al desarrollo sostenible, promoviendo la producción ecológica y el reciclaje de polvo de carburo de silicio verde. Además, el polvo de carburo de silicio verde también se expandirá a una gama más amplia de campos de fabricación de semiconductores, como el corte, el empaquetado y las pruebas de obleas, y contribuirá al desarrollo integral de la industria de semiconductores.
En resumen, el polvo de carburo de silicio verde desempeña un papel vital en la industria de los semiconductores gracias a sus excelentes propiedades físicas y químicas. Con el avance continuo de la tecnología y la expansión continua del mercado, las perspectivas de aplicación del polvo de carburo de silicio verde serán más amplias, lo que brindará un fuerte apoyo para el rápido desarrollo de la industria de los semiconductores.